4200A-SCS-PK2 — система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением)

Цена по запросу

Описание системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:

Комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением 4200A-SCS-PK2. В состав комплекта входят: 4200A-SCS (1 шт) - базовый блок параметрического анализатора; 4200-SMU (2 шт) - измерительный модуль средней мощности; 4200-PA (1 шт) - токовый предусилитель; 4210-CVU (1 шт) - опция CV-метрии; 8101-PIV (1 шт) - оснастка для подключения тестируемых компонентов.

Система 4200A-SCS – универсальная система для измерения вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе, С-V метрии (снятие вольт-фарадных характеристик) на переменном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.

Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.

Система измерения параметров полупроводников 4200A-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств:

Назначение системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:

  • Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В;
  • Измерения на переменном токе (C-V, C-f, C-t) в диапазоне до 420 В с разрешением 1 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
  • Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 5 нс;
  • Автоматическое переключение между режимом измерения ВАХ и CV-метрией.

Особенности системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:

  • Встроенная рабочая станция на базе ОС Windows 7;
  • Сенсорный 15,6" ЖК монитор высокого разрешения (1920x1080);
  • Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно;
  • Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности;
  • Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультранизкочастотную CV-метрию;
  • Опциональное измерение высоковольтных вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В;
  • Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (Clarius) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования;
  • Библиотека до 450 стандартных тестов;
  • Широкий набор интерфейсов и портов: USB, SVGA, Printer, GPIB, Ethernet, mouse, Keyboard.

Измерительные модули:

Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе в четырехквадрантной области (измерение/генерация). Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200-SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU.

Модули средней мощности 4200-SMU:

  • 7 токовых диапазонов для генерации и измерения:
    от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала).
    Разрешение:
    от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения;
    от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации.
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
    от 200 мВ до 200 В.
    Разрешение:
    от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
    от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
    Максимальное выходное напряжение:
    21 В при токе 100 мА;
    210 В при токе 10 мА.
  • Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
    Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

Модули большой мощности 4210-SMU:

  • 9 токовых диапазонов для генерации и измерения:
    от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала).
    Разрешение:
    от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения;
    от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации.
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
    от 200 мВ до 200 В.
    Разрешение:
    от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
    от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
    Максимальное выходное напряжение:
    21 В при токе 1 А;
    210 В при токе 10 мА.
  • Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
    Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

Токовый предусилитель 4200-PA:

Расширяет токовые диапазоны дополнительно:
1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик:

С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:

  • встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU;
  • опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER;
  • квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU
    с опцией 4200-PA;
  • новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA.

Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.

Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:

  • тестовый сигнал:
    частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
    разрешение тестового сигнала 1 кГц, 10 кГц, 100 кГц, 1 МГц в зависимости от диапазона;
    точность частоты ±0,1%;
    выходной уровень 10 мВ...100 мВ;
    разрешение 1 мВскз;
    точность±(10%+1 мВскз)
  • внутренний источник постоянного смещения:
    диапазон ±30 В (60 В диф.);
    разрешение 1 мВ;
    точность±(0,5%+5 мВ);
    максимальный ток 10 мА;
  • режим свипирования:
    параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение;
    закон: линейный,пользовательский;
    направление: вверх, вниз;
    количество точек: 4096;
  • измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta;
  • выходные интерфейсы: 4 SMA (female).

Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.

4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров:

  • Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов;
  • MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах;
  • MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах;
  • Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов;
  • Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах;
  • Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах;
  • PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения;
  • Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell;
  • BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор);
  • I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте;
  • Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке;
  • Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки;
  • Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора.

Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-PWR:

  • Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ;
  • Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ);
  • Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ;
  • Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU) или 300мА (для 4210-SMU);
  • Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки;
  • Поддержка до 4-х SMU.

4200-CVU-PWR применяется для тестирования:

  • мощные устройства;
  • дисплеи;
  • LDMOS;
  • устройства памяти.

Квазистатический способ CV-метрии:

  • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA;
  • Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate;
  • Поддержка постоянного смещения ±200 В;
  • Библиотеки тестов.

Применяется для тестирования:

  • CMOS малой мощности;
  • некоторые типы дисплеев (индикаторов);
  • различные устройства с низким током утечки.

Ультранизкочастотная CV-метрия:

  • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц);
  • Сверхнизкий уровень шумов;
  • Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ;
  • Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки.

Применяется для тестирования:

  • CMOS;
  • органическая электроника (OLED, OFET, OPVC);
  • устройства памяти;
  • тонкопленочные транзисторы (TFT).

Для автоматического переключения между измерениями ВАХ и CV-метри и доступен модуль 4200A-CVIV.

Кроме того, CV-метрия может быть добавлена в любой выходной канал не изменяя текущее подключение кабелей. Любой канал может быть сконфигурирован пользователем для измерений малых токов с использованием предусилителя 4200-PA или со стандартным разрешением для SMU при измерении токов - через 4200A-CVIV-SPT.

  • Входные разъемы:
    4200-PA: D-Sub (male), 15 pin;
    4200-CVIV-SPT: 2 триаксиальных (Female)на модуль;
    CVU: 4 SMA (female);
  • Выходные разъемы:
    8 триаксиальных (female);

  • Выходные канал: конфигурирование от 1 до 4;

  • Максимальное напряжение 210 В;
  • Максимальный ток 1А.

Ультрабыстрое тестирование:

В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:

  • Генератор импульсов типа 4220-PGU;
  • Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU.

Обе модели поддерживают:

  • Два выходных канала;
  • Стандартный (2-уровневый) импульс;
  • Segment Arb:
    макс. количество сегментов 2048;
    макс.количество последовательностей 512;
    длительность сегмента от 20 нс до 40 с;
    разрешение 10 нс;
  • Формирование сигнала произвольной формы;
  • Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода:
    10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω);
    40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω);
  • Выходные разъемы:
    4 SMA (female);
    2 HDMI (только для 4225-PMU).

Модель 4220-PGU является только двухканальным генератором импульсов напряжения.

Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:

импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей);

переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени;

импульсный генератор: двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB.

Модуль предусилителя/коммутатора 4225-RPM используется для автоматического переключения между измерениями ВАХ, CV-метрии и импульсными измерениями.

Данный модуль расширяет диапазон измерения 4225-PMU для работы с малыми токами.

  • Входы SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control;
  • Входные разъемы:
    2 триаксиальных (female);
    2 SMA (female);
    1 HDMI;
  • Выход - 1 канал;
  • Выходные разъемы:
    2 триаксиальных (female).

Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A.

Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет.

Опция 4200-BTI-A включает в себя:

  • один модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU;
  • два модуля предусилителей/коммутаторов 4225-RPM;
  • программное обеспечение для автоматического тестирования (ACS);
  • тесты для ультрабыстрого BTI тестирования;
  • комплект кабелей.

Для проведения многоканальных измерений для системы 4200A доступно использование матричных коммутаторов: шестислотового 707B и однослотового 708B.

Программные средства:

Интерактивное программное обеспечение состоит из различных программных продуктов для обеспечения функционирования системы Keithley 4200A.

Среди них:

  • Keithley Clear Straightforward Analysis (Clarius)—интерактивный пользовательский интерфейс для 4200A-SCS;
  • Keithley User Library Tool (KULT)—поддерживает создание и интеграцию программ на языке С и другие пользовательские алгоритмы в Clarus для использования 4200A-SCS. Требуется опция 4200-COMPILER;
  • Keithley Configuration Utility (KCON)—позволяет управлять по GPIB внешними устройствами, такими как: коммутаторами, внешними измерительными модулями, источниками-измерителями, установками зондового контроля, измерителями емкости, импульсными генераторами, осциллографами;
  • Keithley External Control Interface (KXCI)—приложение для управления системой 4200A-SCS от удаленного компьютера через GPIB;
  • KPulse графический пользовательский интерфейс(GUI) предоставляет альтернативные (без программирования) возможности по конфигурированию и управлению модулями 4225-PMU и 4220-PGU. Используется для проведения быстрых тестов без взаимодействия с другими модулями и ресурсами 4200A-SCS.

Пользовательский интерфейс (Keithley Interactive Test Environment - KITE):

Что позволяет данный интерфейс?

  • Даже неопытный пользователь может сразу без помощи программиста приступить к измерениям, которые займут немного времени;
  • Новый пользовательский интерфейс Clarius позволяет осуществить выбор из библиотеки в которой более чем 450 тестов, проектов и устройств для быстрого тестирования;

  • Быстро и правильно проводить тестирование благодаря встроенной системе помощи, которая включает подробное описание тестов, схему измерения и видеоролики;

  • Быстро установить параметры тестирования минимальным количеством кликов мыши с использованием нового представления "All Parameteкs" или графического представления;

  • Анализировать и систематизировать полученные результаты и не заботиться о потере данных;

  • Clarius поддерживает измерительные функции:

> Прецизионные измерения (снятия ВАХ) на постоянном токе при помощи измерительных модулей 4200-SMU и 4210-SMU;

> CV-метрию (измерение импеданса на разных частотах):
Cp-Gp (шунтирующая емкость и проводимость),
Cs-Rs (последовательное сопротивление и проводимость),
Cp-D (шунтирующая емкость и коэффициент потерь),
Cs-D (последовательное сопротивление и коэффициент потерь),
R+jX (сопротивление и реактивное сопротивление),
Z-theta (импеданс и фазовый угол),
DCV (смещение постоянного напряжения),
частота,
временные метки на 4096 точек за свипирование

> Ультрабыстрые ВАХ:
одновременное измерение тока и напряжения в импульсном режиме;
напряжение, ток и время одновременно оцифровываются в режиме захвата формы ( до 1 млн. точек оцифровки)

Доступны два метода экстракции параметров: формульный редактор (выполняет трансформацию данных для автоматизации обработки и экстракции данных) и встроенная крупноформатная таблица в стиле Excel

Пользователю доступны широкими возможностями масштабного управления для анализа:

  • экспорт в xls формат;
  • расширенный поиск;
  • большой набор математических функций;
  • библиотека основных тестов ВАХ;
  • библиотека тестов в области нанотехнологий
  • библиотека внешних инструментальных команд
  • встроенные тесты испытания на надежность
  • фабрично установленные константы.

Технические характеристики системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ и CV-метрии с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK2:

Диапазон тока Макс.напряжение Разрешение
(измерение)
Точность
измерения
±(% от шкалы + А)
Разрешение
(генерация)
Точность
генерации
±(% от шкалы + А)
Технические характеристики измерительных модулей
4210-SMU 1 А 21 В 1 мкА 0,100% + 200 мкА 50 мкА 0,100% + 350 мкА
100 мА 210 В 50 нА 0,045% + 3 мкА 5 мкА 0,050% + 15 мкА
4200-SMU и 4210-SMU 100 мА 21 В 50 нА 0,045% + 3 мкА 5 мкА 0,050% + 15 мкА
10 мА 210 В 5 нА 0,037% + 300 нА 500 нА 0,042% + 1,5 мкА
1 мА 210 В 500 пА 0,035% + 30 нА 50 нА 0,040% + 150 нА
100 мкА 210 В 50 пА 0,033% + 3 нА 5 нА 0,038% + 15 нА
10 мкА 210 В 5 пА 0,050% + 600 пА 500 пА 0,060% + 1,5 нА
1 мкА 210 В 500 фА 0,050% + 100 пА 50 пА 0,060% + 200 пА
100 нА 210 В 50 фА 0,050% + 30 пА 5 пА 0,050% + 30 пА
4200-SMU и 4210-SMU с опцией 4200-PA 10 нА 210 В 5 фА 0,050% + 1 пА 500 фА 0,060% + 3 пА
1 н 210 В 1 фА 0,050% + 100 фА 50 фА 0,060% + 300 фА
100 пА 210 В 300 аА 0,100% + 30 фА 15 фА 0,100% + 80 фА
10 пА 210 В 100 аА 0,050% + 15 фА 5 фА 0,500% + 50 фА
1 пА 210 В 10 аА 1,000% + 30 фА 1,5 фА 1,000% + 40 фА
Диапазон напряжения Диапазон тока Разрешение
(измерение)
Точность
измерения
±(% от шкалы + А)
Разрешение
(генерация)
Точность
генерации
±(% от шкалы + А)
4200-SMU 4210-SMU
200 В 10,5 мА 105 мА 200 мкВ 0,015% + 3 мВ 5 мВ 0,02% + 15 мВ
20 В 105 мА 1,05 А 20 мкВ 0,01% + 1 мВ 500 мкВ 0,02% + 1,5 мВ
2 В 105 мА 1,05 А 2 мкВ 0,012% + 150 мкВ 50 мкВ 0,02% + 300 мкВ
200 мВ 105 мА 1,05 А 0,2 мкВ 0,012% + 100 мкВ 5 мкВ 0,02% + 150 мкВ
Параметр Значение
Выходные разъемы (4200-SMU, 4210-SMU) 3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
Выходные разъемы (4200-PA) 3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
Шум (типичное) генерация (ток/напряжение скз) 0,01% / 0,1% от полного диапазона
измерение (ток/напряжение пик-пик) 0,02% / 0,2% от полного диапазона
Максимкальная скорость нарастания 0,2 В/мкс
CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик
Частота Измеряемая емкость С точность G точность
10 МГц 1 пФ ±0,92% ±590 нс
10 пФ ±0,32% ±1,8 мкс
100 пФ ±0,29% ±17 мкс
1 нФ ±0,35% ±99 мкс
1 МГц 1 пФ ±1,17% ±64 нс
10 пФ ±0,19% ±65 нс
100 пФ ±0,10% ±610 нс
1 нФ ±0,09% ±4 мкс
100 кГц 10 пФ ±0,31% ±28 нс
100 пФ ±0,18% ±59 нс
1 мкФ ±0,10% ±450 нс
10 нФ ±0,10% ±3 мкс
10 кГц 100 пФ ±0,31% ±15 нс
1 нФ ±0,15% ±66 нс
10 нФ ±0,08% ±450 нс
100 нФ ±0,10% ±3 мкс
1 кГц 1 нФ ±0,82% ±40 нс
10 нФ ±0,40% ±120 нс
100 нФ ±0,10% ±500 нс
1 мкФ ±0,15% ±10 мкс
Амплитудные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
Параметр Импеданс Диапазон 10 В Диапазон 40 В
Амплитуда на выходе 50 Ом - 1 МОм -10 В...+ 10 В -40 В...+40 В
50 Ом - 50 Ом -5 В...+ 5 В -20 В...+ 20 В
Точность ±(0,5% + 10 мВ) ±(0,2% + 20 мВ)
Разрешение 50 Ом - 1 МОм
50 Ом - 50 Ом
Уровень шума, скз (типичное) ±(0,3% + 1 мВ) ±(0,1% + 5 мВ)
Выходной импеданс 50 Ом 50 Ом
Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
Параметр Диапазон 10 В
(только генерация)
Диапазон 10 В
(с измерением)
Диапазон 40 В
(только генерация)
Диапазон 40 В
(с измерением) для 4225-PMU
Частотный диапазон 1 Гц...50 МГц 1 Гц...8,3 МГц 1 Гц...10 МГц 1 Гц...3,5 МГц
Временное разрешение 10 нс 10 нс 10 нс 10 нс
Джиттер, скз (типичное) 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс
Период 20 нс...1с 120 нс...1с 100 нс...1с 280 нс...1с
Длительность импульса 10 нс...(период - 10 нс) 60 нс...(период - 10 нс) 50 нс...(период - 10 нс) 140 нс...(период - 10 нс)
Программируемое
время перехода
10 нс...33 мс 20 нс...33 мс 30 нс...33 мс 100 нс...33 мс
Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
Параметр Диапазон 10 В Диапазон 40 В
Диапазон измерения тока 10 мА 200 мА 100 мкА 10 мА 800 мА
Точность ±(0,25% + 100 мкА) ±(0,25% + 250 мкА) ±(0,25% + 1 мкА) ±(0,5% + 100 мкА) ±(0,25% + 3 мА)
Шум 15 мкА 50 мкА 75 нА 5 мкА 200 мкА
Измерение тока 4225-PMU с предусилителем/коммутатором 4225-RPM
Параметр Диапазон 10 В
Диапазон измерения тока 100 нА 1 мкА 10 мкА 100 мкА 1 мА 10 мА
Точность ±(0,5% + 1 нА) ±(0,5% + 1 нА) ±(0,5% + 30 нА) ±(0,5% + 100 нА) ±(0,5% + 1 мкА) ±(0,5% + 10 мкА)
Шум 200 пА 2 нА 5 нА 50 нА 300 нА 1,5 мкА
Импульсные измерения 4225-PMU с 4225-RPM
Импульс/Уровень 4225-PMU с 4225-RPM
Выходное напряжение -10 В до +10 В
Точность ±(0,5% + 10 мВ)
Разрешение
Базовый шум ±(0,39% ± 1 мВ)скз
Измерения напряжения 4225-PMU с 4225-RPM
Параметр 4225-PMU с 4225-RPM
Диапазон измерения 10 В
Минимальная длительность импульса 100 нс
Шум 1 мВскз
Время установки 100 нс

Комплект поставки 4200A-SCS-PK2

Наименование Количество
1 Базовый блок параметрического анализатора 4200A-SCS 1
2 Измерительный модуль средней мощности 4200-SMU 2
3 Токовый предусилитель 4200-PA 1
4 Опция CV-метрии 4210-CVU 1
5 Оснастка для подключения тестируемых компонентов 8101-PIV 1
Артикул: 46182

Бренд